Die IMPACT-Serie von Gefran umfasst füllmedienfreie Druckmessumformer für den Einsatz in Hochtemperaturanwendungen bis 350 °C.
Der Prozessdruck wird über eine robuste Membran direkt auf das empfindliche Silizium-Messelement übertragen. Die Verformung wird durch eine mikromechanisch gefertigte Siliziumstruktur (MEMS) in ein elektrisches Ausgangssignal umgewandelt.
Das Messprinzip basiert auf dem piezoresistiven Verfahren.
Die IMPACT-Serie ist Gefrans exklusive Produktfamilie für Hochtemperatur-Druckmessungen auf Basis der piezoresistiven Technologie.
Das Hauptmerkmal der IMPACT-Sensoren ist, dass sie keine Übertragungsflüssigkeit enthalten. Das unmittelbar hinter der Prozessmembran angeordnete Messelement wird mittels mikromechanischer Siliziumtechnologie (MEMS) gefertigt.
Die MEMS-Struktur umfasst die Messmembran und die Piezowiderstände.
Die für das Messelement erforderliche minimale Auslenkung ermöglicht eine besonders robuste mechanische Konstruktion.
Dadurch kann die Prozessmembran bis zu 15-mal dicker ausgeführt werden als bei herkömmlichen Massedrucksensoren.
